美国热门专业EE分值介绍（四）

微结构Microstructure

作为微电子学革命的发源学科，固体电子学技术现在又产生了另一个新的重要的技术领域--微机电系统Micro-Electro- Mechanical Systems MEMS。MEMS是一个极端多学科交叉的领域，对工程与科学领域有重大影响，尤其是电气工程，机械工程，生物工程等等。最近的研究表明微加工 (Micromaching)为推动化学工程、材料工程、生物学、物理化学的前沿发展提供了强大的工具。MEMS的最基础方面是微制备技术的加工知识，制造微小结构的方法。正是MEMS技术使我们能够制造超声微喷流(Microjet)和微米尺度电机，能在一硅晶片上制造纳米尺度扫描隧道显微镜nanoscale scanning tunneling microscopes，能制作用于测量精细胞活性的微迷宫。