达姆施塔特工业大学的起源，可追溯于 1836年成立的一所高等商业学校 Höhere Gewerbschule (Higher Trade School)，1844年学校获得了位于 Kapellplatz 的一幢主建筑作为学校的教学用地。经过近20年的发展，1864年在达姆施塔特市成立了一所技术学校 Technische Schule(Technical School)，并于 1868年成立大公黑森州理工学校 Großherzoglich Hessische Polytechnische Schule (Grand Ducal Hessian Polytechnic)。当时黑森州大公国的政界，对于是否应该建立这样一所理工学校进行了激烈的讨论。讨论的核心在于处于贫穷状态的大公国，是否能负担得起一个以技术为导向的高等教育机构，甚至是一所理工学院。
1877年10月10日路德维希四世将早期的达姆施塔特综合技术学校，更名为达姆施塔特工业大学。就此达姆施塔特工业大学Technische Hochschule Darmstadt 正式成立。1881年至1882年该校的学生人数并不多，公众开始广泛讨论是否应关闭这所大学。与此同时在 1882年的美国纽约，托马斯·爱迪生建立了全世界第 一个用于民用住宅的发电厂，当时的人们坚信电能会征服世界。但当时的实际问题是，在世界范围内并没有足够训练有素的电气工程师。达姆施塔特工业大学预见到了这个技术职务的人力空缺，并在面临被关闭的困境中，同当地政府一道做出了一个大胆的决定，建立全球电气工程的第 一把交椅。就此，电子工程系应运而生，并成为达姆施塔特工业大学的第六个科系，德国物理学家 Erasmus Kittler被委任为第 一任教授。这是世界学术界的传奇，因为在此之前没有任何理工学院或大学，曾经拥有过自己的电子工程学系。这种前瞻性的高等教育政策，为达姆施塔特工业大学在飞速发展的电子工程领域始终处于全球领先地位开辟了道路。这反过来又导致了持续上升的学生人数，对于关闭这所工业大学的讨论也就此终结。
起步阶段
1895年学校在Hochschulstrasse建造了一批新的建筑，其中包括达姆施塔特工业大学的老主楼Alte Hauptgebäude以及主楼正对面的学院楼。在第 一次世界大战前的二十年里，大学的所有学科进行多元化地扩张。新的学科如造纸和纤维素化学被引入教学。并早在1913年成立了航空学系和飞行力学学系。与此同时，政治气候变得更加紧张。在达姆施塔特，针对于外国学生的政治两极化分歧爆炸式地愈演愈烈。达姆施塔特工业大学有着相当庞大的外国学生群体。例如在1906年，多达四分之三在电气工程系学习的学生来自国外。
